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本套臭氧系統包含2套氧氣源8.4kg/h臭氧發生器，配置氮氣補加及儀表風系統、投加系統、循環冷卻水系統、尾氣破壞器以及配套的自動控制、檢測儀器等。

現場提供的氧氣氣源，在氧氣管路上投加合格的氮氣，經露點檢測儀檢測進氣露點後進入臭氧發生器。經粉塵過濾器過濾氣體中的雜質顆粒，調壓閥減壓穩壓後，再經氣動開關閥後進入臭氧發生室。

在臭氧發生室內的中頻高壓電場內，部分氧氣變成臭氧，産品氣體爲臭氧化氣體，經溫度、壓力、流量監測、電動調節閥後由臭氧出氣口排出。臭氧發生室出氣管路上設有臭氧取氣口，通過配置的臭氧濃度儀檢測臭氧出氣濃度。

臭氧出氣通過接觸池曝氣的方式投加，接觸池底部布有微孔曝氣盤，臭氧氣體通過微孔曝氣盤將臭氧投加到水體中。

爲保證臭氧接觸池內外的壓力平衡，接觸池設計1台雙向透氣安全閥。

池子內的尾氣收集，進入尾氣破壞器。臭氧接觸池頂部安裝2套尾氣破壞設備，尾气破坏器采用加热催化的方式將臭氧分解。整个尾气破坏装置的控制由尾气破坏箱控制。经臭氧尾气破坏装置的出口气体臭氧浓度小于0.1 mg/L，直接排放到大气中。

臭氧發生器冷卻水設計1套封閉循環冷卻水系統，通過板式換熱器換熱，为臭氧发生系统提供冷却水，每台臭氧发生器配置一台冷却循环水泵。臭氧發生器冷卻水出水設有溫度變送器、流量開關，当冷却水温度超过設定值或者流量低于設定值時報警。 

臭氧車間安裝一台臭氧/氧氣泄漏報警儀，車間內環境中臭氧泄露超標由臭氧/氧氣泄露報警儀檢測報警並可同時啓動排氣風扇。